AWM40000 系列包括不带放大和放大 / 信号处理的信号。
AWM42150V 和 AWM42300,使用和 AWM2000 相同的电 路。AWM43300V 和 AWM43600V 使用和 AWM3000 相同 的电路。AWM43600V 为 6SLPM 器件。
特点:
● 多个集中安装 /O 形密封圈
● 陶瓷流量管(无引气管),0-1000sccm ● 塑料流量管(无引气管),0-6SLPM ● 高共模压力(150psi)
● 工作温度可至 125˚C
● 零点和满量程高稳定性
AWM40000 系列选型指南
AWM40000 系列选型指南
AWM42150VH AWM42300V AWM43300V AWM43600V
流量范围 ± 25sccm ± 1000sccm +1000sccm +6LPM
(满量程)
输出电压 8.5± 1.5mV 54.7± 3.7mVDC 5± 0.15VDC 5± 0.15VDC
@ 标定点 @25sccm @1000sccm @1000sccm @6LPM
零点电压 0.0± 1.0 mV DC 0.0± 1.0 mV DC 1.00±0.05VDC 1.00± 0.05VDC
零点漂移
+25~-25˚C ± 0.20mV DC ± 0.20mV DC ± 0.025VDC ± 0.025VDC
+25~85˚C
输出电压漂移
+25~-25˚C +2.5% 读数(典型值) ± 2.5% 读数(最大值) -5% 读数(最大值) -5% 读数(最大值)
+25~+85˚C -2.5% 读数(典型值) +6% 读数(最大值) +6%读数(最大值) +6% 读数(最大值)
重复性 & 迟滞 ± 0.35% 读数 ± 1.00% 读数 ± 0.5% 读数 ± 1.00% 读数
压降 @ 满量程 --- 1.50(典型值) 1.02(典型值) 8.00(典型值)
(in H2O) Min Typ. Max.
电源(VDC) 8.0 15 (2)
功耗(mW) --- 60
反应时间(ms) --- 3.0 (1)
共模压力(psi) --- 150 (AWM43600V是 25psi)
输出负载 NPN(电流沉):10mA PNP(电流源):20mA
标定气体 氮气 (AWM42150VH 为氢气)
比率变化量 ± 0.3% 读数
工作温度 -25~85C
储存温度(˚C) -40~90C
冲击